Keithley Instruments Inc. - Parametrisches Testsystem für Halbleiter

Parametrisches Testsystem für Halbleiter

Die Parameter-Testsysteme der Serie S530 von Keithley wurden speziell für DC- und C-V-Messungen in der Überwachung von Prozessen, der Prozesszuverlässigkeit und für die Bauteilcharakterisierung entwickelt. Sie eignen sich für den Einsatz in der Produktion und im Labor sowie für unterschiedlichste Bauteile und Technologien.

Selector Guides

S530 Basic

derzeit kostengünstigster vollautomatischer parametrischer Tester

Kompatibel zu gängigen vollautomatischen Prober-Systemen

Herausgeführte Testerkonfiguration erlaubt eine maximale Flexibilität der Prober-Schnittstelle

Unterstützt 5 Zoll Probe Card Bibliotheken

Bewährte Instrumententechnologie gewährleistet eine hohe Messgenauigkeit und Reproduzierbarkeit

S530 Low Current

Messmöglichkeit für Ströme im pA Bereich

Messung kleiner Leckströme

20W SMUs erreichen bis zu 1A oder 200V

Konfigurierbar bis 8 SMUs und 60 Pins

Optionaler Adapter erweitert Tastkopf mit Guarding

Kompatibel zu gängigen vollautomatischen Prober-Systemen

C-U-Messungen bis 1MHz

S530 High Voltage

Quelle bis 1000V bei 10mA

Hochspannung-sleckstrom und Durchbruchtest

Messung kleiner Leckströme

Messmöglichkeit für Ströme im pA Bereich

20W SMUs erreichen bis zu 1A oder 200V

Konfigurierbar bis 7 SMUs und 32 Pins

Optionaler Adapter erweitert Tastkopf mit Guarding

Kompatibel zu gängigen vollautomatischen Prober-Systemen

C-U-Messungen bis 1MHz

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