Keithley und Mesatronic entwickeln gemeinsam eine neue Wafer-Prober-Technologie für Low-Current- und RF-Probe Cards

Cleveland, Ohio, November 2006 * * * Keithley Instruments, Inc. (NYSE:KEI) hat zusammen mit Mesatronic Group (Voiron, Frankreich) fortschrittliche Probe Cards für HF- und Low-Current-Anwendungen von Halbleiter-Parameter-Tester entwickelt. William Merkel, Marketing Director der Keithley Parametric Test Product Group meint hierzu: "Die neuen Probe Cards werden noch in diesem Jahr verfügbar sein und können dann mit den Parametertestern von Keithley für eine simultane Extraktion von HF- und sehr kleinen DC-Stromparametern genutzt werden. Sie lassen sich dabei mit jeder Kombination von Probe-Pins zur Kontaktierung von Halbleiter-Wafern einsetzen." Die Probes für diese Karten eignen sich auch für die immer häufiger eingesetzten kleineren 30 Mikron Testpads. Gegenwärtig ist die simultane Messung kleiner DC-Ströme und HF-Signale sehr kompliziert, da die verfügbaren Karten nur wenige dedizierte HF-Probe-Pins haben und diese nicht für eine genaue Messung von kleinen DC-Signalen genutzt werden können.

Das neue "any Pin" RF/DC-Probe Card Design ermöglicht einen höheren Testsystemdurchsatz, da sowohl HF-, als auch DC-Messungen mit einer einzigen Wafer-Insertion durchgeführt werden können. Die Probe Card muss hierzu nicht ausgetauscht und der Wafer nicht erneut geladen und ausgerichtet werden. Außerdem können die Anwender von Keithley RF/DC Parametertestern auf eine Karte für mehrere Halbleitertestanwendungen standardisieren. Neben einer Reduzierung der Anzahl der benötigten Probe Cards lassen sich auch Messfehler besser vermeiden, die auf den Einsatz einer falschen Probe Card beim Test zurückzuführen sind. Die neue Probe Card Technologie ist besonders für die Hersteller von RFICs (RF Integrated Circuits), RFIDs (Radio Frequency Identification Devices) und Bauteilen für drahtlose Endgeräte und Mobiltelefone sowie Infrastruktur interessant.

Keithley/Mesatronic-Entwicklung
Die entscheidende Entwicklung der neuen Probe Card ist ein räumlichen Wandler, der die Probe Card mit einer flexiblen Membran-Schaltungsstruktur in der Mitte des Probers verbindet, wo die Prober-Nadeln eingebaut werden. Keithley konnte auf der Basis der umfassenden Erfahrungen im Bereich von Guard-Schaltungen und anderer Interconnect-Technologien für DC- und HF-Messungen mit höchster Empfindlichkeit die entsprechenden Breitband-Signalpfade mit niedrigem Verlust entwickeln, die für die Implementierung der Probe Card entscheidend sind. Weil alle Verbindungs-Geometrien im Design identisch sind, konnten auch die Herstellungskosten und der Verkaufspreis gesenkt werden.

Die D.O.D ("Die-On-Die") Technology® von Mesatronic für eine vertikale Abtastung wird ebenfalls in den neuen Probe Cards eingesetzt, wodurch die Scrub-Länge für 30 Mikron Testpads reduziert werden konnte. Die konventionelle Cantilever Probe-Technologie ist gegenwärtig auf Pad-Größen von mehr als 50 Mikron beschränkt.

Die neue Probe Card Technologie erlaubt in Verbindung mit einem Parametertester der Serie S600 von Keithley eine Single-Insertion DC/RF-Wafer-Messungen für eine automatische Prozessüberwachung. Dies umfasst auch eine vollautomatische Single-Pass-Kalibrierung, die schnell während des Tests und ohne Verifikation durch den Bediener ausgeführt werden kann. Mit der neuen Probe Card lassen sich HF- und kleine DC-Stromsignale mit jeder beliebigen Kombination von Prober-Pins messen, wobei einfach nur die Art der Verkabelung und die Terminierung der HF- und DC-Pins verändert werden muss. Dieses System bietet damit eine einzigartige Kombination aus Leistungsfähigkeit, Geschwindigkeit, Flexibilität, einfacher Verwendung und kompakter Größe - und spart damit dem Anwender Zeit, Aufwand und Geld.

Weitere Details zu den Parametertestern der Serie S600 von Keithley finden Sie unter: http://www.keithley.com/products/semiconductor/?mn=S680, oder auf der Website des Unternehmens unter: www.keithley.com.

Über Keithley
Mit einer Messtechnikerfahrung von mehr als 60 Jahren gehört Keithley Instruments zu den weltweit führenden Unternehmen für elektrische Testinstrumente und -systeme von DC bis RF. Die Produkte des Unternehmens werden in der Produktion, Prozessüberwachung, Produktentwicklung und Forschung eingesetzt. Zu den Kunden des Unternehmens gehören Wissenschaftler und Ingenieure in der weltweiten Elektronikindustrie, die sich mit Materialforschung, der Charakterisierung von Halbleiterbauteilen und Wafern, sowie der Produktion von Endprodukten wie elektronischen Baugruppen oder portablen drahtlosen Geräten befassen. Keithley bietet seinen Kunden eine Kombination aus Präzisionsmesstechnik und umfassender Anwendungserfahrungen, die Qualität, Durchsatz und Fertigungsausbeute verbessern können.

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