Keithley stellt neues integriertes C-V Modul und Software für das Halbleiter-Charakterisierungssystem 4200-SCS von Keithley vor

Hochauflösendes Foto unter http://www.ggcomm.com/Keithley/4200-CV_PR.jpg

Cleveland, Ohio, SEMICON Europa, Stuttgart, 9. Oktober 2007 * * * Keithley Instruments, Inc. (NYSE: KEI), ein führender Anbieter von Messtechnik, stellt ein neues C-V-Messinstrument für das Halbleiter-Charakterisierungssystem Modell 4200-SCS vor. Das Modell 4200-CVU lässt sich als Modul in einen freien Instrumentensteckplatz des Modells 4200-SCS einstecken und erlaubt schnelle und einfache Kapazitätsmessungen im Bereich von Femto-Farad (fF) bis Nano-Farad (nF) bei Frequenzen von 10 kHz bis 10 MHz. Das Modell 4200-CVU wurde auf der Basis modernster und leistungsfähigster Schaltungen entwickelt, wobei für das innovative Design acht Patente angemeldet wurden. Das Design zeichnet sich durch eine intuitive Click-and-Point Einstellung, eine einfache Verkabelung und integrierte Elementmodelle aus, durch die sich das sonst übliche Ausprobieren zum Erreichen gültiger C-V-Messungen vermeiden lässt. Damit können C-V Tests wesentlich einfacher durchgeführt werden. Weitere Informationen erhalten Sie unter: www.keithley.com/pr/078 for more information.

Das Modell 4200-CVU beinhaltet umfassende Testbibliotheken, durch die sich die Testeffizienz deutlich erhöhen lässt. Eine weitere Leistungssteigerung lässt sich durch das Modell 4200-LS-LC-12 von Keithley erreichen, eine spezielle Schaltmatrix und Karte mit Kabeln und Adaptern, die einen voll integrierten C-V/I-V-Test mit einer einzigen Prober-Kontaktierung ermöglicht. Das optionale Modell 4200-PROBER-KIT erlaubt eine einfache Verbindung des Modells 4200-SCS mit den meisten gängigen Probern. Damit wird ein umfassender C-V-Test erreicht, der sich so einfach einrichten und durchführen lässt wie ein I-V-Test.

Unterstützung unterschiedlichster Anwendungen

Mit diesen neusten Erweiterungen für seine 4200-SCS Produktlinie hat Keithley im Bereich der C-V-Messungen eine führende Position eingenommen und kann jetzt mit einem einzigen Halbleitertestinstrument unterschiedlichste Anwendungen, eine breite Palette von Probern, Bauteiltypen, Prozesstechnologien und Messmethodiken – einschließlich Impuls I-V – abdecken. Mit dem Modell 4200-CVU und den optionalen Modulen bietet Keithley nun Lösungen, die von anderen Charakterisierungssystemen nicht realisiert werden können, da diesen entweder integrierte C-V/I-V/Impulstests fehlen oder sie nur eingeschränkte Unterstützung hinsichtlich ihrer Anwenderschnittstellen und Softwarebibliotheken bieten. Zudem lassen sich mit der flexiblen und leistungsfähigen Test Execution Engine des Systems die I-V-, C-V- und Impuls-Tests einfach innerhalb der gleichen Testsequenz kombinieren. Somit kann das Modell 4200-SCS verschiedene elektrische Testwerkzeuge durch eine einzige, voll integrierte Charakterisierungslösung ersetzen. Natürlich unterstützt das Modell 4200-SCS von Keithley mittels verschiedener Messinstrumente von externen Anbietern weiterhin C-V/I-V/Impuls- und andere Testmethodiken. Diese Merkmale machen das System 4200-SCS/CVU zur idealen Lösung für:

• Entwicklung/Prozessentwicklung/Zuverlässigkeitstests von Halbleiter-Technologien
• Material- und Bauteilforschungslabore
• Labore, die ein Benchtop-DC- oder Impulsinstrument benötigen
• Halbleiterlabore und Anwender, die ein universell einsetzbares und kompaktes Instrument benötigen

Leistungsfähige Software

Das Modell 4200-SCS verfügt über eine intuitive Windows-basierende Anwenderschnittstelle (GUI). Die einfache Anwendung ist das Ergebnis einer langjährigen Entwicklung in Zusammenarbeit mit den Kunden und wurde auch auf die neuen Hardware- und Software-Module des Modells 4200-CVU übertragen, die eine natürliche Erweiterung der interaktiven Testumgebung und Execution Engine darstellen. Keithley unterstützt die Hardware des Modells 4200-CVU mit einer umfassenden Palette von Beispielprogrammen, Testbibliotheken und integrierten Beispielen zur Parameterextraktion für den sofortigen Einsatz. Die acht Softwarebibliotheken beinhalten umfassende C-V-Tests und Analysen. Sie decken alle Standardanwendungen einschließlich C-V-, C-t- und C-f-Messungen und Analysen für High- und Low-K-Strukturen, MOSFETs, BJTs, Dioden, Flash-Speicher, photovoltaische Zellen, III/V-Verbindungshalbleiter und Kohlenstoff-Nanoröhrchen (CNT) Bauteile ab. Neben der Grenzschicht-, Pin-zu-Pin- und Interconnect-Kapazität liefert die Analyse- und Parameterextraktionssoftware Informationen zu Dotierungsprofil, TOX, mobilen Ionen und Trägerlebensdauer. Diese Tests beinhalten verschiedene lineare und kundenspezifische C-V-Verläufe sowie die Charakterisierung über die Zeit und über die Frequenz- Verläufe.

Im Gegensatz zu anderen Charakterisierungssystemen arbeiten die C-V/I-V-Analyse- und Extraktionsprogramme von Keithley in einer gut dokumentierten offenen Umgebung, so dass die Anwender ihre Routinen einfach modifizieren und kundenspezifisch anpassen können. Integrierte Beispielprojekte helfen dabei die Programmentwicklungszeit zu verkürzen.

Das Modell 4200-CVU umfasst auch eine Reihe fortschrittlicher Diagnose-Tools, die dabei helfen, die Gültigkeit der C-V-Testergebnisse zu gewährleisten. Beispielsweise lassen sich Unsicherheiten hinsichtlich der Genauigkeit von Testergebnissen mit Hilfe der "Confidence Check"-Funktion überprüfen oder über das Echtzeit-Bedienfeld Teile des Testaufbaus zur Validierung isolieren.

Die bewährten Funktionen des Modells 4200-SCS bieten dem Anwender umfassende Möglichkeiten bei kürzester Einarbeitungszeit. Damit können eine höhere Produktivität und Leistungsfähigkeit in der Bauteilcharakterisierung und Modellierung im Halbleiterlabor erreicht werden.

Für höchsten Durchsatz entwickelt

Die außerordentliche Messgenauigkeit, Geschwindigkeit und Leistungsfähigkeit des Modells 4200-CVU ist auf die schnelle digitale Messhardware und straffe Hardware- und Software-Integration des Modells 4200-SCS sowie auf ein störungsarmes Systemdesign zurückzuführen. Durch die Kombination dieser Stärken kann das Modell 4200-CVU die Produktivität der Anwender merklich verbessern, unabhängig davon, ob die Aufgabe nur aus der Erstellung einer einfachen einzelnen Messung oder der Ausführung einer vorbereiteten Testfolge mit einem einzigen Mausklick oder einer komplizierte Triggerung und Darstellung mehrerer C-V-Abläufe besteht. Die digitale Hochgeschwindigkeitsarchitektur des Systems ermöglicht, dass das Modell 4200-CVU C-V-Abläufe in Echtzeit schneller ausführen und darstellen kann als andere vergleichbare C-V-Messgeräte.

Vielseitige Testumgebung

Neben der Durchführung von I-V/C-V/Impuls-Tests in einer flexiblen, voll integrierten Testumgebung, haben die Anwender des Modells 4200-SCS weitere Möglichkeiten. Hierzu stehen bis zu acht Mittel- oder Hochleistungs-DC-SMUs (Source-Measure Unit), zweikanalige Impuls- und Signalgeneratoren sowie ein integriertes digitales Oszilloskop zur Verfügung. Wie das Modell 4200-CVU lassen sich alle diese Instrumente in die Instrumenten-Steckplätze des Modells 4200-SCS einstecken und werden über die leistungsfähige Keithley Test Environment Interactive (KTEI, Version 7.0) Softwareumgebung gesteuert. Diese Point-and-Click-Schnittstelle beschleunigt die Testerstellung, Testablaufsteuerung und Datenanalyse. KTEI kann auch verschiedene externe Instrumente, einschließlich der meisten Prober, beheizbaren Wafer-Halter und Testadapter sowie auch die hoch integrierten Schaltmatrizen von Keithley steuern, die eine höchste Verbindungsflexibilität bieten.

Investitionsschutz

Keithley verfolgt den Grundsatz stetiger und durchgängiger Hardware- und Software-Upgrades für das Modell 4200-SCS. Selbst das erste Modell 4200-SCS kann mit dem Modul Modell 4200-CVU und der damit verbundenen Software sowie der optionalen Hardware nachgerüstet werden. Die Systeme lassen sich so kostengünstig erweitern und sind damit für die steigenden Anforderungen geeignet, zudem können die Investitionen in ein Modell 4200-SCS über mehr Jahre verteilt werden als bei anderen Testlösungen. Überdies kann externe Hardware und die Testprogrammentwicklung auf ein Minimum reduziert werden.

Verfügbarkeit

Das Modell 4200-CVU und die optionalen Kits sind ab 1. Dezember 2007 verfügbar. Weitere Informationen unter: www.keithley.com/pr/078. Informationen zu anderen Halbleitertestlösungen von Keithley unter: www.keithley.com.

Über Keithley

Mit einer Messtechnikerfahrung von mehr als 60 Jahren gehört Keithley Instruments zu den weltweit führenden Unternehmen für elektrische Testinstrumente und -systeme von DC bis RF. Die Produkte des Unternehmens werden in der Produktion, Prozessüberwachung, Produktentwicklung und Forschung eingesetzt. Zu den Kunden des Unternehmens gehören Wissenschaftler und Ingenieure in der weltweiten Elektronikindustrie, die sich mit Materialforschung, der Charakterisierung von Halbleiterbauteilen und Wafern sowie der Produktion von Endprodukten wie elektronischen Baugruppen oder portablen drahtlosen Geräten befassen. Keithley bietet seinen Kunden eine Kombination aus Präzisionsmesstechnik und umfassender Anwendungserfahrungen, die Qualität, Durchsatz und Fertigungsausbeute verbessern können.

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