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Keithley stellt einsatzbereites 200mm Wafer Testsystem für 130nm Technologie vor

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Cleveland, Ohio, Juli 2004 - Keithley Instruments, Inc. (NYSE:KEI), ein führender Anbieter von Messtechniklösungen, stellt ein kompaktes, sofort einsatzfähiges parametrisches Testsystem mit geringen Pin-Kosten und attraktivem Preis/Leistungs-Verhältnis vor. Das Parameter Testsystem Modell S470 wurde für den Produktionstest von 200mm Wafern in der 130nm CMOS-Technologie und darüber hinaus optimiert.

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Keithley stellt einsatzbereites 200mm Wafer Testsystem für 130nm Technologie vor

Cleveland, Ohio, Juli 2004 - Keithley Instruments, Inc. (NYSE:KEI), ein führender Anbieter von Messtechniklösungen, stellt ein kompaktes, sofort einsatzfähiges parametrisches Testsystem mit geringen Pin-Kosten und attraktivem Preis/Leistungs-Verhältnis vor. Das Parameter Testsystem Modell S470 wurde für den Produktionstest von 200mm Wafern in der 130nm CMOS-Technologie und darüber hinaus optimiert.

Hoher Durchsatz, Genauigkeit und Flexibilität
Das Modell S470 kann schnell und genau unterschiedliche I-V- und C-V-Messungen an CMOS-, bipolaren und GaAs-ICs - einschließlich Automotive- und Telekommunikations-ICs - LCDs sowie anderen Bauteilen durchführen. Die äußerst einfache Bedienung steigert den Wert des Testsystems, da sowohl die Testprogrammierung, als auch der alltäglichen Betrieb beschleunigt und vereinfacht werden.

Bewährtes Design
Das Modell S470 basiert auf der in der Produktion bewährten und sehr zuverlässigem UNIX-basierenden Tester der Modellserie S400 von Keithley (von der weltweit Hunderte Systeme installiert wurden) mit einer weltweiten Unterstützung und Infrastruktur zur Ersatzteilversorgung. Die Applikationssoftware ist die neuste Version der Keithley Test Environment (KTE v5.1) mit einem Test Executive und einer Bedienerschnittstelle, die identisch mit den anderen Modellen der S400 Serie und den populären Modellen der Serie S600 ist. Dies vereinfacht die Migration von Testprogrammen und durch regelmäßige System-Upgrades wird eine maximale Hardware- und Software-Wiederverwendung erreicht. Das Modell S470 wird mit einjähriger Garantie geliefert. Es ist unter anderem mit folgenden Optionen verfügbar: HF-Test bis 40GHz, adaptive Testsoftware zur automatisierten Prozessdiagnose und SECS/GEM für die Automatisierung einer 200 mm Fertigung.

Anwendungsvorteile
Die Parameter-Tester der Modellserie S400 von Keithley werden seit den 1980er Jahren von der Halbleiterindustrie umfassend eingesetzt und von Keithley durch kontinuierliche System-Upgrades unterstützt, um mit verändernden Technologien und Kundenanforderungen im Testbereich Schritt halten zu können und somit eine führende Wiederverwendung der Systeminvestitionen zu erreichen. Mit einer Strommessauflösung von besser als 10 fA stellt das Modell S470 eine wirtschaftliche Lösung für den Test der häufigsten Arten von ICs in der Massenfertigung dar. Die Anforderungen hinsichtlich einer genauen und wiederholbaren Messung ohne Artefakte wird erfüllt, gleichzeitig wird ein hoher Testdurchsatz gewährleistet. Die Software KTE v5.1 gehört zu den am einfachsten zu bedienenden parametrischen Testanwendungen und kombiniert leistungsfähige unkomplizierte Tools für die Entwicklung und Modifikation von Testcode, eine Palette verschiedener Messmöglichkeiten und eine moderne Datenanalyse für eine vollständige parametrische Testlösung.

Produktdetails
Die Kombinationslösung Modell S470 wird als 24-Pin-Konfiguration, einschließlich Probe-Card-Adapter und Verkabelung, sowie mit vollständigen Guarding- und Kelvin-Verbindungen zu den Messspitzen geliefert. Das Basissystem beinhaltet vier DC I-V-Source-Measure Units, ein 100 kHz Kapazitäts-/Leitwertmessgerät, ein Picoamperemeter und eine Systemreferenzeinheit mit Kalibrierung und Diagnosesoftware. Das Picoamperemeter lässt sich auf alle Pins schalten und bietet eine Messauflösung von weniger als 10 fA. Die schnellen Matrix-Schaltkarten für kleine Ströme sind vergleichbar mit den bewährten Karten des Typs 707A/7174 A von Keithley und erreichen kurze Einschwingzeiten. Das Ergebnis sind Messungen mit hoher Integrität und einem hohen Fertigungsdurchsatz.

Die Bediensoftware KTE v5.1 stellt eine robuste Plattform für die Testentwicklung, Auswahl von Verfahrensanweisungen und Testausführung zur Verfügung. Enthalten sind Standard CMOS- und BiCMOS-Messbibliotheken und ein C-Compiler, mit dem neue Algorithmen erstellt werden können. Wie alle neueren Tester der Serie S400 läuft KTE auf einem Sun-Controller mit Solaris UNIX Betriebssystem. Die Dokumentation der Systemsoftware wird auf CD-ROM geliefert. Die Systeminstallation vor Ort und eine Garantie von einem Jahr sind enthalten.

Zu den Systemoptionen gehören:

  • Bis zu 4 zusätzliche DC I-V-Source-Measure Units
  • Erweiterung auf 36 oder 48 Pins
  • HF-Option für nichtextrapolierte s-Parameter-Messungen bis 40 GHz
  • Schnelles 1 MHz oder Multifrequenz-Kapazitätsmessinstrument für moderne Dielektrikas
  • Gepulste Spannungsquelle mit mittlerer Stromstärke für Flash- und Ladungspumpen-Anwendungen und zur Messung von Strömen bis zu 2 A
  • Mikrovoltmeter zur Überwachung von Kupferprozessen
  • Impulsgenerator (maximal zwei, jeweils mit einem oder zwei Kanälen)
  • Frequenzzähler oder Spektrumanalysator für Ringoszillatormessungen
  • Keithley Receipe Manager zur automatischen Versionskontrolle und Receipe Fanout mit Rückführbarkeit für Verfahrensanweisungen gemäß ISO-9000
  • Adaptiver Test für automatische Prozessdiagnose

Verfügbarkeit
Bestellungen werden ab sofort angenommen, die Lieferzeit berträgt 90 Tage nach Auftragseingang. Keithley erstellt Ihnen gerne ein ausführliches Angebot für die erforderlichen Optionen oder hinsichtlich der Verfügbarkeit von Upgrades für ältere Systeme der Serie S400. Weitere Informationen zum Parameter-Testsystem Modell S470 oder anderen Halbleitertestlösungen von Keithley erhalten Sie über: www.keithley.com

Zum Unternehmen
Keithley Instruments, Inc. (Cleveland, OHIO, USA), ein weltweit führendes Messtechnik-Unternehmen, entwickelt, fertigt und vertreibt elektronische Mess- und Testgeräte, Hard- und Software für die PC-gestützte Messwerterfassung, Steuerung, Regelung, Prozesskontrolle, Prüfstandsteuerung sowie individuelle Komplett-Systemlösungen. Die Produkte werden weltweit in Fertigungs-, Forschungs- und Entwicklungsabteilungen der Industrie, an Universitäten und öffentlichen Forschungseinrichtungen eingesetzt. Ein besonderer Schwerpunkt liegt bei der Fertigungs- und Qualitätskontrolle, speziell im Test von elektronischen Bauteilen und Telekommunikations-Endprodukten sowie in der Halbleiterindustrie. Die Geräte von Keithley Instruments genießen bereits seit 1946 weltweit einen hervorragenden Ruf - sie sind für Messungen von elektrischen, thermischen und sich ändernden kleinsten Signalen unübertroffen in Genauigkeit, Geschwindigkeit und Zuverlässigkeit. Speziell für den Bereich Halbleiter-Fertigung ist das Unternehmen ein bedeutender Zulieferer im Bereich "Front End / Rear End"-Test.

Keithley Instruments hat eigene Niederlassungen in Deutschland, Großbritannien, Frankreich, Benelux, Schweiz, Italien, Japan, Taiwan (R.O.C.) und der VR China. Die europäische Zentrale befindet sich in Germering bei München.


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Zuletzt verändert: 2005-02-18