Keithley stellt neue Generation seiner On-Wafer HF-Messmöglichkeiten vor

Keithley stellt neue Generation seiner On-Wafer HF-Messmöglichkeiten vor

Cleveland, Ohio, März 2005 - Keithley Instruments, Inc. (NYSE:KEI)
stellt die dritte Generation seiner On-Wafer HF-Messmöglichkeiten für die
parametrische Prozesskontrolle in der Halbleiterproduktion vor. Neu in der
optionalen HF-Lösung ist die einzigartige Möglichkeit einer
kontinuierlichen, automatischen Echtzeit-Überwachung der Messqualität,
wodurch Ergebnisse mit höchster Qualität bei höchstem Durchsatz,
niedrigsten Betriebskosten und einfacherem Einsatz als mit anderen
Produkten ermöglicht werden. Außerdem ist Keithley's HF-Option das einzige
Testsystem, das für die parametrische Prozesskontrolle in der 200mm und
300mm-Produktion von leistungsfähiger Logik und leistungsfähigen analoge
ICs weltweit in vielen Fabs qualifiziert ist.

Höchste Messintegrität. Durch die automatische kontinuierliche Überwachung der Messintegrität kann der Tester automatisch Ereignisse erkennen, welche die HF-Kalibrierung beeinträchtigen können und kann automatisch entsprechende Verbesserungen wie eine selbstständige Neukalibrierung ausführen. Auch Änderungen der Systemkonfiguration, wie ein Wechsel der Probe Card, können als Kriterien für eine selbstständige Neukalibrierung definiert werden. Zudem gibt es auch zeitabhängige Triggerereignisse, wie beispielsweise eine abgelaufene HF-Kalibrierung. Zur letzten Kategorie gehören schließlich noch messabhängige Triggerereignisse. Beispielsweise kann, während der Prober zur nächsten Site geht, im Hintergrund der Tester automatisch die Qualität der Prober-Kontaktierungen überprüfen und falls erforderlich eine automatische Sondenreinigung veranlassen.

Durch eine höhere Messintegrität lässt sich der Einsatz von HF-Spezialisten
reduzieren, die ansonsten die Rohdatenkurven manuell auf Anomalien
untersuchen müssen, da sonst fragwürdige HF-Messergebnisse auftreten
würden. Zudem lassen sich auch hohe Kosten für Testwiederholungen und
Nacharbeit vermeiden, so dass diese Systeme für den Einsatz in den sehr
effizient und selbstständig arbeitenden 300mm-Fabs geeignet sind.

Höchster Durchsatz. DDie HF-Option ist in Verbindung mit der SimulTest-Option des Modells S680 und in Kombination mit entsprechenden Teststrukturen und Probe Cards das einzige verfügbare HF-Testsystem, das simultan DC- und HF-Messungen mit einer einzigen Sondenkontaktierung durchführen kann. Dadurch ist ein deutlich höherer Durchsatz als bei anderen Methoden möglich, welche die DC- und HF-Messungen nacheinander ausführen. Überdies können erstmals HF-Parameter in Echtzeit aus den gemessenen S-Parametern extrahiert und de-embedded werden, wobei durch die große Extraktionsbibliothek für HF-Parameter keine Nachbearbeitung erforderlich ist, so dass sich Zeit einsparen lässt und ein höherer Durchsatz erreicht wird.

Außerdem hat nur Keithley mit dem Parametertestsystem Modell S680 eine
direkte Andockmöglichkeit zur Durchführung von Messungen bei 40GHz.
Vergleichbare Produkte benötigen einen manuellen Wechsel der Probe Card
durch einen HF-Spezialisten mit einem Drehmomentschlüssel und einer
anschließenden manuellen Neukalibrierung. Die HF-Lösung von Keithley kann
diesen Wechsel der HF-Probe Card automatisch in einem Bruchteil der Zeit
ausführen, wodurch wiederum der Durchsatz deutlich erhöht wird. Ein
automatischer Wechsel der Probe Card verbessert zudem die Messintegrität,
da sich so größere Abweichungen durch den Bedienereingriff vermeiden
lassen, die ansonsten bei den HF-Messergebnissen zu Abweichungen zwischen verschiedenen Systemen führen können. Und da nun kein HF-Spezialist mehr benötigt wird, ergeben sich niedrigere Betriebskosten. Diese Möglichkeit für einen automatischen Wechsel der Probe Card ist eine neue Funktion der HF-Option von Keithley.

Insgesamt bietet somit die VNA-basierende Lösung von Keithley einen
deutlich höheren Durchsatz und eine bessere Reproduzierbarkeit als ENA-
oder PNA-basierende Lösungen.

Niedrigste Betriebskosten. Die SofTouch-Option maximiert die Lebensdauer der Probe Card durch eine Minimierung der Nadelbelastung, während gleichzeitig die Einhaltung der Qualitätskriterien für den Sondenkontakt überwacht wird. Eine Fab erwartet hinsichtlich der Kontaktzyklen der HF-Probe-Card nach eigenen Schätzungen eine um den Faktor 100 längere Lebensdauer, so dass die Probe Card-Kosten um denselben Faktor reduziert werden konnten. Die Probe Card-Manager-Option in Keithley`s System ermöglicht bei HF-Probe-Cards eine kontinuierliche, automatische Überwachung der Kontaktzyklen und der verbleibenden Lebensdauer der Probe-Card, so dass sich die Kosten noch weiter reduzieren lassen.

Eine optionale 40GHz-HF-Lösung arbeitet mit den bestehenden automatischen DC-Produktionsprober der Fab. Dadurch können die Anschaffungskosten um bis zu zwei Drittel reduziert, sowie die Kosten für Wartung und Bedienpersonal im Vergleich zu anderen Lösungen, die einen spezialisierten HF-Prober erfordern, ebenfalls reduziert werden. Auch die Betriebskosten lassen sich merklich senken, da DC- und HF-Tests in einem Durchlauf auf den gleichen Anlagen durchgeführt werden können und zudem die Waferlose nicht zwischen einem DC-Tester und einem HF-Tester transportiert werden müssen. Außerdem kann Keithley im Gegensatz zu vergleichbaren Produkten, bei denen nur ein einziger Anbieter von HF-Probe Cards zur Verfügung steht, mit diesem neuen System gleich drei unterschiedliche Anbieter nennen. Damit lassen sich die Probe Card-Kosten minimieren und eine voraussagbare, stabile und vertrauenswürdige Supply Chain während des Produktionsanlaufs gewährleisten.

Unterschiedlichste Anwendungen.Die Messmöglichkeiten von Keithley's HF-Option beinhalten eine verbesserte Software-Suite, mit der die Anwender rasch große Mengen hochwertiger HF-Daten erfassen können, wodurch ein Einsatz in verschiedenen Anwendungen möglich ist. Sie basiert auf einer erprobten und ausgereiften Bedienerschnittstelle, die sich in Fabs auf der ganzen Welt bewährt hat.

Für die parametrische Prozesskontrolle in der Produktion von
High-K-Transistoren kann die HF-CV-Methodik von Keithley traditionelle CV-
oder MFCV-Messungen ersetzen, wodurch die Produktions-Fabs die Dicke der
Gatterschichten bei leistungsfähigen Logik-ICs unter 65nm besser
kontrollieren können. Für leistungsfähige Analog- oder HF-ICs ermöglicht
die HF-Option eine Reduzierung der Verifizierungszeit von
HF-Schaltungsmodellen auf zwei Wochen oder weniger gegenüber zwei Monaten oder mehr beim Einsatz anderer HF-Messoptionen. Die optionale HF-Lösung bietet damit den Kunden durch das Erreichen einer kürzeren
Markteinführungszeit einen deutlichen Wettbewerbsvorteil. Die Hersteller
von HF-ICs können die HF-Options-Lösung von Keithley auch für die
parametrische Kontrolle von Standardgütefaktoren wie ft oder fmax in
BiCMOS-Produktionsprozessen nutzen. Auch in der Produktion von SOCs lassen sich die Keithley´s HF-Messmöglichkeiten für einen Funktionstest von
Benchmark-Schaltungen und Gütefaktoren wie LNA sowie für Mobiltelefonfilter
einsetzen.

Umfassende HF-Unterstützung. Die HF-Messmöglichkeiten basieren auf den langjährigen Implementierungs-erfahrungen von Keithley in Fabs weltweit. Keithley's Applikationsingenieure verfügen über eine umfassende Erfahrung in der Entwicklung von HF-Teststrukturen für Fertigungsumgebungen, einschließlich Transistorgatter-kondensatoren für HF-CV-Messungen bei leistungsfähiger Logik, sowie Induktoren und Filter für leistungsfähige analoge Anwendungen. Außerdem können die Halbleiterphysiker von Keithley die Kunden bei der Interpretierung der Messergebnisse und der Nutzung der Ergebnisse für eine bessere Prozesssteuerung unterstützen.

Verfügbarkeit. Die optionalen HF-Messmöglichkeiten der dritten Generation sind von Keithley ab sofort sowohl für das Modell S680 als auch für das Modell S470 ab Fabrik verfügbar. Im Sinne von Keithley´s Bestrebungen hinsichtlich einer Wiederverwendung von vorhandenen Investitionen ist auch eine Nachrüstungsoption für bereits bestehende Systeme der Serien S600 und S400 erhältlich, die während der letzten 15 Jahre installiert wurden.

For More Information. Weitere Informationen zu den Messmöglichkeiten von Keithley´s  HF-Option sowie eine kurze Online-Produktvorstellung und Informationen über andere HF- oder Halbleitertestlösungen sind unter http://www.keithley.de/pr/011.html oder direkt vom Unternehmen über http://www.keithley.com verfügbar.

Zum Unternehmen. Keithley Instruments, Inc. (Cleveland, OHIO, USA), ein weltweit führendes Messtechnik-Unternehmen, entwickelt, fertigt und vertreibt elektronische Mess- und Testgeräte, Hard- und Software für die PC-gestützte Messwerterfassung, Steuerung, Regelung, Prozesskontrolle, Prüfstandsteuerung sowie individuelle Komplett-Systemlösungen. Die Produkte werden weltweit in Fertigungs-, Forschungs- und Entwicklungsabteilungen der Industrie, an Universitäten und öffentlichen Forschungseinrichtungen eingesetzt. Ein besonderer Schwerpunkt liegt bei der Fertigungs- und Qualitätskontrolle, speziell im Test von elektronischen Bauteilen und Telekommunikations-Endprodukten sowie in der Halbleiterindustrie. Die Geräte von Keithley Instruments genießen bereits seit 1946 weltweit einen hervorragenden Ruf - sie sind für Messungen von elektrischen, thermischen und sich ändernden kleinsten Signalen unübertroffen in Genauigkeit, Geschwindigkeit und Zuverlässigkeit. Speziell für den Bereich Halbleiter-Fertigung ist das Unternehmen ein bedeutender Zulieferer im Bereich "Front End / Rear End"-Test. Keithley Instruments hat eigene Niederlassungen in Deutschland, Großbritannien, Frankreich, Benelux, Schweiz, Italien, Japan, Taiwan (R.O.C.) und der VR China. Die europäische Zentrale befindet sich in Germering bei München.