Keithley ACS Version 3.2 ermöglicht neuen parallelen Test und parametrische Die-Sortierung mit höherem Durchsatz

Cleveland, Ohio, Januar 2008 * * * Keithley Instruments, Inc. (NYSE:KEI), ein führender Anbieter von Messtechnik-Lösungen, stellt die Version 3.2 der ACS (Automated Characterization Suite) Software für die Charakterisierung von Halbleitern auf Bauteil-, Wafer- und Kassetten-Ebene vor. Mit der Version 3.2 wurden die leistungsfähigen Automatisierungsmöglichkeiten von integrierten ACS Testsystemen mit parallelen Multisite-Testfunktionen, einer Ergebnis-kategorisierung für Die-Sortierungsanwendungen, neuen Plotting-Funktionen auf Wafer-Ebene und einer Unterstützung für die neuen System SourceMeter® Instrumente Modelle 2635 und 2636 von Keithley mit einer Auflösung von 1 fA bei Strommessungen weiter verbessert. Durch diese neuen Funktionen steht eine äußerst kostengünstige Kombination mit höchster Testflexibilität und Durchsatz zur Verfügung, die einen Betrieb ohne Bedienpersonal sowohl im Labor, als auch in der Produktion erlaubt. Weitere Informationen über die integrierten ACS Testsysteme von Keithley sind unter http://www.keithley.com/pr/070 erhältlich.

Größere Flexibilität und Durchsatz

Besonders die neuen Halbleiter-Technologien erfordern umfangreichere Tests sowie eine Datenerfassung innerhalb kürzerer Zeit und mit weniger Ressourcen. Kostengünstige und flexible Testplattformen, die diesen Anforderungen entsprechen, lassen sich auf der Basis von Source-Measure Units und einem Software-Paket realisieren. So müssen diese einzigartigen Messanwendungen nicht erst Unternehmens-intern oder mit Hilfe externer Dienstleister entwickelt werden. Die Automated Characterization Suite V3.2 von Keithley erfüllt diese Anforderungen mit einem umfassenden Software-Paket, das einsatzfähige Anwendungen für das Modell 4200-SCS, die System SourceMeter der Serie 2600 und andere SMU-basierte Systeme enthält. Dadurch lassen sich eine kürzere Markteinführungszeit und niedrigere Testkosten erreichen.

Multisite-Test

Eine integrierte Ergebniskategorisierung von Multisite-Tests erfordert spezielle Funktionen zum Management des Testablaufs, vom Wafer-Mapping bis hin zur Ausgabe der Binning-Dateien. ACS V3.2 erlaubt eine Automatisierung auf Wafer- und Kassetteneben und ermöglicht somit einen selbstständigeren Test und eine Erfassung von großen statistischen Datenmengen für die Modellierung und Prozessqualifikation, sowie für eine Maximierung der Tool-Auslastung. ACS definiert die logischen und physischen Sites so, dass ein paralleler Test von Strukturen und Bauteilen ermöglicht wird. Die Testergebnisse werden den logischen Sites durch den Testablauf zugeordnet. Der Umstieg von sequentiell ablaufenden Tests auf tatsächlich parallel ablaufende Tests erfordert buchstäblich nur wenige Mausklicks.

Die zu Grunde liegende Technologie ist TSP-Link™ von Keithley, die in den System SourceMeter Instrumenten der Serie 2600 integriert ist. Mit Hilfe des Plotting auf Wafer-Ebene kann der Anwender einfach durch eine Kassette von Wafern navigieren und auf jedem Wafer die in unterschiedlichen Farben dargestellte Kategorisierung betrachten. Der Anwender muss nur auf die zu untersuchende logische Site klicken und die Ergebnisse werden sofort mit den während der Testentwicklung verwendeten Analyseparametern dargestellt.

Anwendungen für die Die-Sortierung

ACS eignet sich für bis zu 100.000 Dies pro Wafer - eine extrem hilfreiche Funktionalität beim Die-Sorting. Die Funktionen zur Wafer-Beschreibung unterstützen ein grafisches Zoomen, was ein Wafer-Setup bei sehr vielen Dies deutlich erleichtert. Um die Die-Sortierung weiter zu beschleunigen, unterstützt ACS auch programmierbare Abbruchbedingungen, so dass der restliche Test übersprungen werden kann wenn in einem Test einen unzureichendes Bauteil entdeckt wird. Die Abtastsequenz kann entweder im Hinblick auf die Testmuster oder die physischen Sites optimiert werden, so dass sowohl die Auslastung des Probers als auch der Testhardware maximiert werden kann. Neue größere parametrische Testbibliotheken für die Systeme der Serie 2600 und das Modell 4200-SCS verkürzen die Vorbereitungszeit für die Tests, und User Access Points (UAPs) ermöglichen dem Anwender eine Erweiterung der Merkmale und Funktionen der von Keithley gelieferten Testausführungs-Engine, wozu auch die Erstellung der Binning-Dateien gehört.

Erweiterter Support

ACS umfasst jetzt eine Unterstützung für die neue Linie der System SourceMeter der Serie 2600 mit höherer Stromempfindlichkeit. Hierzu gehören auch das einkanalige Modell 2635 und das zweikanalige Modell 2636, die eine Auflösung bei Strommessungen von 1 fA und Spannungsquellen für bis zu 200 V bieten. Die System SourceMeter der Serie 2600 sind ideal für unterschiedlichste Zuverlässigkeitstests von Halbleitern, wie NBTI (Negative Bias Temperature Instability). ACS unterstützt auch eine Darstellung der Testergebnisse in Echtzeit und bietet damit eine hohe Transparenz für Zuverlässigkeitstests, wie TDDB, NBTI HCI usw.

Zusammenfassung der neuen Merkmale:

• Paralleler Multisite-Test für logische und physische Sites
• Unterstützung von bis zu 100.000 Dies pro Wafer
• Optimierung im Hinblick auf eine Site- oder Pattern-Priorität
• Einstellbare Exit-Bedingungen auf Bauteil-, Subsite-, Site-, Wafer-, und Projektebene
• User Access Points (UAPs) erlauben dem Anwender eine Erweiterung der Merkmale und Funktionen der von Keithley gelieferten Testausführungs-Engine
• Kassetten-Stichprobenplan
• Priority Binning mit bis zu 16 Bins
• Logisches Site Binning zur Unterstützung von parallelen Multisite-Tests
• Darstellung auf Wafer-Ebene kombiniert mit grafischer Bilddatenanalyse und einer Navigation auf Wafer-Ebene - durch klicken auf eine logische Site kann die grafische Analyse der ausgewählten Tests betrachtet werden
• Plotting der Testergebnisse und Analysen in Echtzeit
• Neue größere Parameter- und Zuverlässigkeitsbibliotheken
• Unterstützung für die SourceMeter Systeme Modell 2635 und 2636

Verfügbarkeit

Die Software ist ab sofort verfügbar. Weitere Informationen zu den neuen integrierten ACS Testsystemen oder anderen Halbleiter-Testlösungen von Keithley sind unter: http://www.keithley.com/pr/070 erhältlich. Kontakt zum Unternehmen ist unter www.keithley.com möglich.

Über Keithley

Mit einer Messtechnikerfahrung von mehr als 60 Jahren gehört Keithley Instruments zu den weltweit führenden Unternehmen für elektrische Testinstrumente und -systeme von DC bis RF. Die Produkte des Unternehmens werden in der Produktion, Prozessüberwachung, Produktentwicklung und Forschung eingesetzt. Zu den Kunden des Unternehmens gehören Wissenschaftler und Ingenieure in der weltweiten Elektronikindustrie, die sich mit Materialforschung, der Charakterisierung von Halbleiterbauteilen und Wafern sowie der Produktion von Endprodukten wie elektronischen Baugruppen oder portablen drahtlosen Geräten befassen. Keithley bietet seinen Kunden eine Kombination aus Präzisionsmesstechnik und umfassender Anwendungserfahrungen, die Qualität, Durchsatz und Fertigungsausbeute verbessern können.

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