Keithley erweitert Halbleiter-Charakterisierung mit Modell 4200-SCS und Software KTEI 5.0 um Stress- und Zuverlässigkeitstests

Keithley erweitert Halbleiter-Charakterisierung mit Modell 4200-SCS und Software KTEI 5.0 um Stress- und Zuverlässigkeitstests

Cleveland, Ohio, Januar 2004 - Keithley Instruments, Inc. (NYSE: KEI) hat das neue Halbleiter-Charakterisierungssystem Modell 4200-SCS mit integrierter Software KTEI v5.0 (Keithley Test Environment-Interactive) vorgestellt. Das Modell mit KTEI 5.0 bietet dem Anwender als einziges standardmäßiges Testsystem nicht nur die Möglichkeit für eine Halbleiter-Charakterisierung, sondern auch für Stress- und Zuverlässigkeitstests zur Analyse der Bauteillebensdauer und zur Qualitätssicherung. Die neue Software, die auch einzeln als Upgrade verfügbar ist, macht das Modell 4200-SCS zu einem beinah universellen Werkzeug für Halbleitertests. Mittels einer einfachen Maussteuerung sind Strom/Spannungsmessungen an Bauteilen wie Transistoren, Widerständen und Dielektrikas mit bis zu acht unabhängigen Kanälen möglich. Diese Messungen sind entscheidend in der Materialforschung, Modellierung, Entwicklung und Produktion von zahlreichen Halbleitern und anderen Bauteilen.

KTEI 5.0 lässt sich in Windows® NT und XP-Umgebungen einsetzen und bietet umfassende Funktionen für die Testdefinition, Parameteranalyse, graphische Darstellung und Automatisierung für die Halbleiter-Charakterisierung und für Zuverlässigkeitstests. Neben der Erweiterung der Kernleistungsfähigkeit umfasst KTEI 5.0 die Möglichkeiten unterschiedlicher Zuverlässigkeitstests. Zu den in dieser Softwareversion enthaltenen Test gehören beispielsweise HCI (Hot Carrier Injection oder CHC (Channel Hot Carrier)), NBTI (Negative Bias Temperature Instability), TDDB (Time Dependant Dielectric Breakdown) und Elektromigration (EM). KTEI 5.0 erlaubt auch einfache Integration von anwenderspezifischen Testmodulen für eine vollständige kundenspezifische Anpassung.

Um die Investition der Kunden in bestehende Testprogramme zu schützen, kann die Software KTEI 5.0 in alle vorhandenen Systeme der Modelle 4200-SCS installiert werden, ohne dass Daten verloren gehen und ohne dass Änderungen der Hardware oder der Netzverbindungen erforderlich sind. Durch die Rückwärtskompatibilität sind auch die Tests und Programme der vorhergehenden Softwareversionen lauffähig. Ein vollständiger System-Upgrade ist ebenfalls verfügbar, so dass ein bestehendes Modell 4200-SCS mit den neusten Hardware- und Softwaremöglichkeiten ausgestattet werden kann.

Anwendungshintergrund
Das ausgezeichnete Modell 4200-SCS Keithley ist das bevorzugte Charakterisierungssystem vieler Halbleiterunternehmen, die über eine sehr große installierte Basis dieser Anlagen verfügen. Diese große Verbreitung ist das Ergebnis der einzigartigen Bedienfreundlichkeit der KTEI-Software und der großen Bandbreite an verschiedenen Strom/Spannungs-Quellen- und Messmöglichkeiten. Dies hat auch zu Anfragen hinsichtlich einer Erweiterung des Modells 4200-SCS für Stress- und Zuverlässigkeitstests geführt.

Diese Nachfrage wird auch durch die zunehmende Miniaturisierung der ICs vorangetrieben. Durch die immer kleineren Bauteile wird das Gateoxid immer dünner, was ein großes Problem wegen der schnelleren Bauteilalterung darstellt. Die IC-Lebensdauer hat sich mittlerweile merklich verkürzt, da die Hersteller an die Grenzen der Physik und der Herstellbarkeit stoßen und somit Zuverlässigkeitstests heute wichtiger sind als jemals zuvor. Die IC-Hersteller führen daher bereits sehr früh im Herstellungsprozess Zuverlässigkeitstest auf Wafer-Ebene durch, da sich so sehr kostengünstig und zuverlässig die Produktleistung sicherstellen lässt. Durch die bewährten Messmöglichkeiten und die einfache Einsetzbarkeit des Modells 4200-SCS lassen sich auch bei Zuverlässigkeitstests die Testkosten und die Zeit für die Testentwicklung reduzieren. Eine große Nachfrage für derartige Möglichkeiten ist besonders bei Material- und Bauteileentwicklungslabors sowie im Bereich der Prozessvalidierung und -überwachung festzustellen.

Die Plattform 4200-SCS eignet sich gut für Verbesserungen und Erweiterungen. Durch den Umstieg auf die Windows XP-Umgebung und die Aktualisierung des Prozessors verdeutlicht Keithley sein Engagement im Hinblick auf die Weiterentwicklung dieser Produktlinie. Es wird erwartet, dass Windows XP von Microsoft noch mindestens bis 2007 unterstützt wird, so dass die Nutzbarkeit des Modells 4200-SCS über die nächsten Jahre sichergestellt ist. Diese Faktoren haben Keithley veranlasst, das neue Software-Paket KTEI 5.0 mit Möglichkeiten für Stress- und Zuverlässigkeitstest auszustatten sowie einen Prozessor- und Betriebssystem-Upgrade für die existierenden Modelle 4200-SCS anzubieten.

Produktdetails
Es gibt drei Optionen für die Erweiterung des Models 4200 SCS/KTEI 5.0 mit neuen Systemmöglichkeiten: ein Upgrade nur der Software, ein vollständiger Upgrade der Systemhardware und Software sowie ein vollständig neues System. KTEI 5.0 enthält alle Softwarewerkzeuge für das Modell 4200-SCS und ersetzt die gegenwärtige Software (v4.3.2 und früher). Anwender des Modells 4200-SCS, die einen Upgrade von CPU und Betriebssystem wünschen, sollten den vollständigen Systemupgrade wählen. Dieser Upgrade bringt das System des Kunden auf die neusten Hardwaremöglichkeiten und installiert das Betriebssystem Windows XP.

Das neue Modell 4200 SCS/KTEI 5.0 ist aufgrund der überlegenen Empfindlichkeit, der Möglichkeiten zur Ablaufsteuerung und der integrierten Windows-Umgebung mit einer einfachen Datenverwaltung und Analyse ideal sowohl für die Bauteilcharakterisierung, als auch für Zuverlässigkeitstests geeignet. Es ist optimal hinsichtlich eines einfachen Einsatzes, einer hohen Flexibilität und niedriger Kosten abgestimmt.

Verfügbarkeit
KTEI 5.0 ist ab sofort auf CD-ROM für einen Upgrade durch den Kunden verfügbar. Ebenso ist ein vollständiger Systemupgrade durch das Werk verfügbar, wobei ein Prozessor-Upgrade, das Betriebssystem Windows XP und KTEI 5.0 installiert werden. Auch das vollkommen neue Modell 4200-SCS ist ab sofort verfügbar. Weitere Informationen zu Keithley KTEI 5.0 und den Upgrades, oder anderen Halbleitertestlösungen von Keithley sind erhältlich unter: www.keithley.com.

Zum Unternehmen
Keithley Instruments, Inc. (Cleveland, OHIO, USA), ein weltweit führendes Messtechnik-Unternehmen, entwickelt, fertigt und vertreibt elektronische Mess- und Testgeräte, Hard- und Software für die PC-gestützte Messwerterfassung, Steuerung, Regelung, Prozesskontrolle, Prüfstandsteuerung sowie individuelle Komplett-Systemlösungen. Die Produkte werden weltweit in Fertigungs-, Forschungs- und Entwicklungsabteilungen der Industrie, an Universitäten und öffentlichen Forschungseinrichtungen eingesetzt. Ein besonderer Schwerpunkt liegt bei der Fertigungs- und Qualitätskontrolle, speziell im Test von elektronischen Bauteilen und Telekommunikations-Endprodukten sowie in der Halbleiterindustrie. Die Geräte von Keithley Instruments genießen bereits seit 1946 weltweit einen hervorragenden Ruf - sie sind für Messungen von elektrischen, thermischen und sich ändernden kleinsten Signalen unübertroffen in Genauigkeit, Geschwindigkeit und Zuverlässigkeit. Speziell für den Bereich Halbleiter-Fertigung ist das Unternehmen ein bedeutender Zulieferer im Bereich "Front End / Rear End"-Test.

Keithley Instruments hat eigene Niederlassungen in Deutschland, Großbritannien, Frankreich, Benelux, Schweiz, Italien, Japan, Taiwan (R.O.C.) und der VR China. Die europäische Zentrale befindet sich in Germering bei München.

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