Keithley und Stratosphere Solutions entwickeln zusammen fortschrittliche Lösungen zur Prozesscharakterisierung unter 65 nm

Cleveland, Ohio, Februar 2008 * * * Keithley Instruments, Inc. (NYSE: KEI) (Sunnyvale, CA), ein Anbieter von innovativer Messtechnik, arbeitet künftig mit Stratosphere Solutions, Inc. (Sunnyvale, CA) zusammen. Stratosphere ist ein Anbieter von parametrischen Messlösungen, mit denen die Hersteller von integrierten Schaltungen ihre Fertigungsausbeute verbessern können. Die Zusammenarbeit von Keithley und Stratosphere Solutions konzentriert sich auf die Entwicklung und Überwachung fortschrittlicher Prozesse mit Hilfe einer Array TEG (Test Element Group) Technologie.

Parametrische Prozessabweichungen stellen bei der Produktion von immer kleineren Bauteilen unter 65 nm eine entscheidende Herausforderung für die Design- und Test-Ingenieure der IC-Hersteller dar. Die Halbleiterindustrie sieht einen rasch wachsenden Bedarf für eine Überwachung der äußerst empfindlichen Fertigungsverfahren, um die Leistung der ICs optimieren zu können, ohne gleichzeitig Kompromisse hinsichtlich der Ausbeute eingehen zu müssen.

Keithley und Stratosphere Solutions wollen den gemeinsamen Kunden nun eine einzigartige Charakterisierungsinfrastruktur zur Verfügung stellen, die zuverlässige parametrische Messungen mit hohem Durchsatz und für große Stückzahlen auf der Basis der parametrischen Tester der Serie S600 von Keithley und der StratoPro™ IP ermöglicht.

"Da die Halbleitertechnologie hinsichtlich der Bauteilminiaturisierung mittlerweile den Nanometerbereich erreicht, muss die Messtechnik nicht nur Schritt halten können, sondern den Herstellern auch die Möglichkeiten geben diese Bauteile bauen und testen zu können", meint Mark Hoersten, Vice President Business Management von Keithley. "Als ein führender Anbieter im Bereich der Halbleitertesttechnologie freut sich Keithley auf dies Zusammenarbeit bei der Entwicklung innovativer Lösungen für die modernsten Anwendungen."

"Wir freuen uns darauf mit Keithley zusammen innovative, vollständige Lösungen zu entwickeln, welche die besten und wichtigsten Tools für unsere Branche kombinieren", sagt Prashant Maniar, Chief Strategy Officer von Stratosphere Solutions, Inc. "Mit dem Übergang zu Technologien mit 45 nm und darunter stehen immer mehr Kunden den Herausforderungen gegenüber, die parametrische Ausbeute steigern zu müssen. Dabei werden sie durch unsere integrierte, halbleiterbewährte Lösung unterstützt und außerdem, die Kosten dafür zu reduzieren, die Testzeit zu verkürzen und das ROI zu verbessern."

Die parametrischen Tester der Serie 600 von Keithley unterstützen die Fabs und Wafer Foundries bei der Reduzierung ihrer Testkosten und beim Umstieg auf neue Bauteiltechnologien. Durch die kostengünstige Verwendung als DC-, RF- und Array TEG-Tester sind verschiedene Einsatzbereiche möglich, so dass sich Testkosten einsparen lassen. Das neuste Testsystem der Serie S600, das Modell S680, kombiniert parallele Messmöglichkeiten mit einer hohen DC-Empfindlichkeit, sowie einer Auflösung im Femtoampere-Bereich und Messfunktionen für RF-S-Parameter bis 40GHz in einem einzigen Testsystem. Dadurch werden sowohl ein hoher Durchsatz, als auch niedrige Folgekosten für die Messung von Technologien bei 65 nm und darunter erreicht.

Array TEG Strukturen, wie die ausgezeichnete StratoPro Produktsuite von Stratosphere werden in der Charakterisierung von Halbleitern mit Geometrien von weniger als 65 nm immer wichtiger. Führende Halbleiterunternehmen wünschen sich ein De-Facto-Standardprodukt, StratoPro ermöglicht eine tausendfach höhere Dichte bei gleicher Halbleiterfläche, Messungen mit höchster Auflösung und insgesamt eine verbesserte Testintegrität.

StratoPro™, eine Parametric ActiveMatrix™ Halbleiter IP-Plattform, ermöglicht Fab und Fab-light Kunden eine Charakterisierung mit hoher Genauigkeit sowie Die-Statistiken für die elektrischen Parameter und ihre Abweichungen. Die 65 nm und 45 nm Halbleiter-bewährte StratoPro Plattform bietet eine um Faktor 10 bis 1000 größere Teststrukturdichte, erlaubt hochauflösende Messungen und erreicht in Verbindung mit der Testplattform von Keithley deutlich kürzere Testzeiten. Fab-Kunden nutzen StratoPro ™ bereits sehr frühzeitig in der Prozessentwicklung zur Steigerung der Ausbeute und zur Produktionsüberwachung. Fab-light Kunden nutzen die Lösung zur Charakterisierung der vom Design-Stil abhängigen Prozessabweichungen.

Über Stratosphere Solutions, Inc.

Stratosphere Solutions, Inc. ist ein führender Anbieter einer innovativen Lösung zur Verbesserung der parametrischen Ausbeute, die eine halbleiterbewährte IP Plattform und Modellierungsanwendungen enthält, mit denen sich die Auswirkungen von Abweichungen hinsichtlich der Leistung und der parametrischen Ausbeute reduzieren lassen. Zu den Kunden gehören weltweit führende Halbleiterunternehmen, die Produkte mit Prozessen von 130 nm bis 45 nm herstellen. Weitere Information sind verfügbar unter: www.stratosol.com.

Weitere Informationen zu den parametrischen Testern oder der Halbleitertest-technologie von Keithley unter www.keithley.com/products/semiconductor.

Über Keithley

Mit einer Messtechnikerfahrung von mehr als 60 Jahren gehört Keithley Instruments zu den weltweit führenden Unternehmen für elektrische Testinstrumente und -systeme von DC bis RF. Die Produkte des Unternehmens werden in der Produktion, Prozessüberwachung, Produktentwicklung und Forschung eingesetzt. Zu den Kunden des Unternehmens gehören Wissenschaftler und Ingenieure in der weltweiten Elektronikindustrie, die sich mit Materialforschung, der Charakterisierung von Halbleiterbauteilen und Wafern sowie der Produktion von Endprodukten wie elektronischen Baugruppen oder portablen drahtlosen Geräten befassen. Keithley bietet seinen Kunden eine Kombination aus Präzisionsmesstechnik und umfassender Anwendungserfahrungen, die Qualität, Durchsatz und Fertigungsausbeute verbessern können. Weitere Informationen unter www.keithley.com.

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